在半导体、集成电路等微电子工业中，混合气扮演着不可或缺的角色，通过高纯电子特气系统参与制程各工序的特种气体，其中有一个重要的组成部分：电子混合气体。通俗的讲，就是由几种气体组成的气体混合。气体混合物是指又两种或者两种以上的纯气体、根据使用的要求并按比例配制而成的混合气，来满足使用需求，有二元或者多元混合气，其品种之多，可达数千种。
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